什么是卧式退火炉？它有哪些特色与长处

　　当今社会快速的提高，工业也在稳步前进中，关于许多职业，卧式退火炉是一个很优异的机器。你知道卧式退火炉有什么特色?有什么优势?本文将为您具体的介绍卧式退火炉，快来一同看看吧。

　　退火炉是在半导体器材制作中运用的一种工艺，其包含加热多个半导体晶片以影响其电功能。热处理是针对不一样的作用而规划的。能够加热晶片以激活掺杂剂，将薄膜转换成薄膜或将薄膜转换成晶片衬底界面，使细密堆积的薄膜，改动成长的薄膜的状况，修正注入的损害，移动掺杂剂或将掺杂剂从一个薄膜转移到另一个薄膜或从薄膜进入晶圆衬底。退火炉能够集成到其他炉子处理过程中，例如氧化，或许能自己处理。退火炉是由专门为加热半导体晶片而规划的设备完结的。退火炉是节能型周期式作业炉，超节能结构，选用纤维结构，节电60%。

　　卧式退火炉骨架由各种型钢焊接而成，外框用槽钢作主梁，围板选用冷薄板，台车卧式退火炉用槽钢作主梁，底板及前后端板选用中板。卧式退火炉传动部分：台车传动选用电动机、减速机经过链条带动前端一组主动轮传动。炉门传动是选用蜗轮减速机和电动机组合电动升降。密封：台车与炉体密封选用迷宫式结构，并在台车两边有主动沙封刀密封设备。炉门密封选用滚道式压紧和绷簧压紧主动组织密封该炉炉体部分选用优质耐火砖结构，保证炉膛密封性。在台车耐压部分选用高铝砖砌筑，下部均添保温砖保温。卧式退火炉焚烧体系：在油炉两边各设备数只烧咀，热流在炉内往复循环，保证炉温均匀性。依据本身的需求可选定主动型和半主动型。排烟预热设备：在炉后上端设备了排烟预热设备，炉内的烟气经过预热器时，由风机送入凉风进行预热，再由管路送至烧咀进行助燃，并在出口设备一只手动碟阀，该阀可调理炉内压力。大范围的应用于化工、石油、食物、冶金、机械、轻工、电力、船只、造纸、矿山、医药、集中供热等工业部门的加热、冷却、冷凝、蒸腾等工艺过程中。

　　退火炉热流在炉内往复循环，炉温均匀性好，无噪声，无环境污染，蓄热性小，热量丢失少，控温精度高，炉温均匀性强，主动化程度高，简略易操作，可选用PID编程设定，全主动实行，密封性好，寿命长，安全可靠。